SF6电气设备本身（气体质量和硬部件制造质量）是合格的，那么，运行的安全可靠性，在很大程度上将取决于安装和调试质量，以及怎样对SF6绝缘性能进行合理的监督。SF6气体到货后，通过质量检验可以保证货源质量水分含量不超过规定标准。但罐气后，如果设备组装条件不够完善，则机器壁上附着的水分，设备的固体绝缘及浇注物中间的水分，以及由于密封效果、填料不同透过的水分，经过一段时间运行后，它们可能释放出来，使得SF6设备的含水量出现变化。因此，针对实际情况，必须对SF6设备中气体的质量进行监测。依照《安规》第194条的具体规定，SF6气体的三个检验周期时间是：

　　（1）灌装后至投运前的一次总体检验，重点检验空气、水分和杂质含量。

　　（2）运行后以三个月为周期的含水量检验，一般应连续进行三次周期性检验。

　　（3）经过检验证明，SF6气体无变化，运行已经稳定之后，则应转为以年为周期的含水量检测。当检验出气体成份有明显变化时，往往是质量和运行问题的反应，应按规定进行报告，必要时请专家诊断、鉴定或进行有关质量复核。